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科技强国从升级镜头开始 第157节

  既然摄像头的性能过剩,处理器的性能不够,那不如用摄像头过剩的性能,帮他们先预处理一下数据。

  当然,这么做的话,摄像头的极限性能肯定就发挥不出来了,

  最多只能把原本60%的性能,提升到80%。

  康驰迅速写下了这个临时过渡方案,并拆分给了双方的技术小组。

  因为cmos是大秦光学开发的,对它的性能和设计都最熟悉,所以这项优化工作也由贺勇彬来主导。

  (本章完)

第182章 救星来了!

  临安,苏省大学微电子学院。

  “通入六甲基二硅胺烷……”

  “硅片脱水完成,增粘处理完成,开始旋转涂胶。”

  “……”

  这已经是他们不知道进行了多少次的实验流程了,除了操作员时不时进行流程汇报之外,实验内悄然无声。

  数十名研发人员都静静地坚守着自己的岗位,偶尔抬头看一眼设备运行情况,以及站在操控台中间的那位老人。

  “涂胶检测完毕,未发现气泡,开始曝光前烘……前烘完毕,光刻机准备曝光……”

  在实验有条不紊的推进中,终于到了曝光环节。

  每次进入曝光环节,那短短的十秒钟,都让吴利鸿感觉像一个世纪那么长……

  而在曝光的过程中,加装在工件台的的测量仪器也在同时进行疯狂的数据收集。

  “曝光结束,进入后烘环节,曝光数据正在分析中……”

  “曝光过程总产气量……”汇报结果的研究员停顿了一下,然后用颤抖的语气念出了数值,“289立方纳米!”

  哗——!

  听到这个结果,整个实验室都顿时安静了下来,随后便是阵阵惊呼声。

  “竟然真是光致产酸剂br-侧键的问题!”

  “吴院士牛逼啊!”

  “……”

  虽然后烘的具体数据还没出来,但光是这个产气量的数据,就已经称得上是史无前例的重大突破了!

  涂满12寸的硅片光刻胶,在曝光的过程中,才产出了仅仅289立方纳米的气体,

  而这么小的产气量,光刻胶的曝光边缘肯定非常光滑平整。

  这就意味着更高的清晰度,以及更低的制程。

  可以说,他们已经彻底解决了光刻胶最棘手的产气量问题!

  吴利鸿听到这个数据后,脸上也不禁浮现起了一抹如释重负的笑容,但这却让他的脸上的皱纹褶子更多了……

  过了大约十分钟,曝光后的硅片也已经完成了后烘,并对曝光部分的光刻胶进行了溶解清除,然后又进行了一次坚膜烘焙,加固光刻胶形成的电路保护膜。

  接下来,就是他们这个实验环节最重要的电路图像清晰度分析了。

  而最终的分析结果也果然不出他们所料,在降低了98%的产气量后,他们得到的电路保护膜,表面非常光滑平整,没有出现任何坍塌变形!

  “膜厚正常,套刻精度正常!”

  听到这个结果,所有人顿时都激动的看着吴利鸿。

  事实上实验进行到了这一步,已经基本可以肯定他们的euv光刻胶,已经达到了纳米的制程标准。

  因为他们苏省微电子的所有精力,都用来研发光刻胶了,对多重曝光等压缩制程的工艺,没有太多的研究,所以纳米只是他们研究所的最小制程工艺。

  而这款光刻胶具体的最小制程,得找申城硅产业或者立昂微来做进一步的验证,尤其是最早拿到euv光刻机的申城硅产业,经过这几个月的摸索调试,他们已经把制程工艺推到了5nm。

  不过为了稳妥起见,吴利鸿还是按捺住激动的心情,对大家开口道:“立即准备蚀刻实验验证,确认最后的环节没问题再送到申城硅产业去。”

  “明白!”

  研究员们听到后,顿时又开始忙碌了起来。

  本来按照他们之前的实验流程,实验到了这一步基本就是失败了,这次其实根本就没有做好进入蚀刻环节的准备。

  但面对这个意想不到的巨大惊喜,大家却没有一丝‘临时加班’的怨言,一个个都吭哧吭哧地开始重新准备实验。

  两个小时后,最终结果终于出炉了。

  他们研发的光刻胶,成功地经受干法刻蚀中高能粒子的洗礼,顺利完成了保护硅片基底的任务,芯片良品率高达98%!

  在吴利鸿院士的带领下,苏省大学微电子研究员,终于成功研发出了一款能胜任制程的国产顶级euv光刻胶!

  而且这个纳米制程,只是目前的初步实验结论。

  从他们这次得到的套刻精度来看,这款光刻胶实际上有相当大的可能,可以胜任5纳米制程芯片的制造!

  吴利鸿也非常沉得住气,没有选择立即将实验结果上报上去,而是让研究员们按照上次的配方,重新调配了一批光刻胶。

  然后重复做了足足十次实验,确认每次的结果误差都在可接受的范围内后,才带着光刻胶和团队的主要技术人员飞往魔都,来到了申城硅产业集团。

  此时的申城硅产业的集团总裁陈云明恰好在和华威的余总和何总,讨论华威p6的芯片代工问题。

  而双方讨论的要点,就是产量和成本的问题。

  华威本着量大从优的道理,想要直接订购两千万枚麒零9000。

  但申城硅产业现在,其实也就只有一台秦光一号。

  按照秦光一号每小时180片的硅片吞吐量,以及制造出的每片晶圆可以切割出500枚芯片来算,一台光刻机每天的产能应该有216万枚。

  但实际上,光刻机的吞吐量不代表晶圆的制造速度,而是要根据不同芯片的设计,进行多次曝光和蚀刻。

  以麒零9000为例,它需要经过足足19次光刻-蚀刻循环,才能完成整个晶圆制造环节,

  也就是说,每天理论上只能造11万枚。

  这还是建立在设备24小时不停机休息和维护,以及100%良率的基础之上。

  因此实际产能,平均每天能有8万枚,就已经很不错了。

  两千万枚芯片的订单,要差不多八个月才能完成,还是把所有产能,都压榨给华威的情况下。

  何况在如此高负荷的运转下,他们光刻胶的库存,都不知道能不能撑得住……

  “……我们也得考虑成本,也要时间来研发3nm的制程工艺,希望你们也能考虑一下我们的难处。”

  陈云明实在有点受不了两位老总的软磨硬泡,最终拍板道,

  “要不就这样吧,我给你两个方案,一个是150元300万枚,一个是200元600万枚,600万是极限,已经很够意思了。”

  “呃……”

  余总立刻在心里算了一笔账。

  按照台机电5纳米制程,13400美元/片晶圆的价格来算,约等于每枚5nm制程的芯片代工费,是187元。

  但台积电的代工是按晶圆来算的,废品都给你算钱了,而陈云明刚刚报的是当个芯片价格,等于去掉了废品,所以150-200元的代工费,在这个特殊时期,确实相当厚道了。

  “可是陈总,这买卖哪有越多越贵的道理……”

  “这不是情况特殊嘛,如果在库存光刻胶消耗完之前,国产光刻胶没有动静,那我们有光刻机也没得用啊,只能先省着点花了……”

  “其实还有个办法,就是伱们去找康博士借点光刻胶给我们,那小子贼精得很,早早地就让我们帮他屯光刻胶了,现在大汉芯业的光刻机屯得比我们还多!”

  每每想到这里,陈云明都有点后悔当初没有听康驰的,提前多屯点光刻胶。

  主要是,当初谁能想到他能这么快搞出euv光刻机……

  就在余总还在考虑着,六百万枚到底能撑多久的时候,陈云明突击接到了吴利鸿的电话。

  “吴院士?等等……你说什么?测试光刻胶?就到楼下了?!”

  “……”

  放下电话的陈云明,过了半响才缓过神,然后连忙打了个电话给董建元,让他下去接吴利鸿。

  处理完这些后,他才转头看向华威的两个老总,一脸激动地说道:“我们的救星来了!”

  (本章完)

第183章 宝刀未老,锋芒不减

  “5nm的良率78%!?”

  当听到苏省大学微电子学院研发出来的euv光刻胶,已经在申城完成了5纳米实验后,康驰顿时就激动地站了起来,

  提高的了音量,也立即吸引了大量的目光。

  “嗯,78%的良率稍微有点低了,所以估计最多也就是5nm了,用来搞3nm良率很可能连50%都不到。”

  “吴老师,这就是你的不对了。”康驰立即一本正经地说道,“咱们做人不能太贪心,总能一口吃成大胖子吧?”

  “而且良率这东西,也不是光看光刻胶的,其它因素影响也很大,他们用小本子的光刻胶,良率估计也不会超过85%吧?”

  “嗯,他们原本的良率刚好是84%,我们这个其实就低了6%,如果调试好的话,有希望达到80%以上……不过话说你小子,最近说话越来越像大领导了啊。”

  “哎,别说了,我要真是大领导,哪里还要去别人公司打工?”康驰叹了口气,“这下可以让王师兄毕业了吧?”

  “嗯,你放心吧,明天就把人给伱。”

  吴利鸿笑着看了看他旁边的王浩文,然后捂着话筒小声说道,

  “这次光刻胶的突破,他也是出了很大力的,小脑瓜子灵活人也勤奋,他要是愿意留在我们研究所和大学任教,以后指不定就是个长江院士,说实话,我还真有点舍不得放给你……”

  “那你倒是给人家开百万年薪啊。”

  “……”

  吴利鸿张了张嘴,无力反驳。

  现在是金钱社会,别说他们年轻人掉钱眼里了,他之前被削经费不也急得跳脚嘛。

  所以对于王浩文逐利的选择,吴利鸿也没说什么。

  而且去了康驰那边,将来的成就,说不定比跟着他还高,尤其是他还准备退居二线了。

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